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리니어 박형스테이지

NEO STAGE - 직선형(UE-M095-X60)

본문

UE-M095-X60
UE-M095-X60

▶ Slotless 리니어 모터 장착

▶ Cogging이 없는  속도Ripple의 최소화

▶ 컴팩트한 초소형 사이즈 - 폭(95mm),높이(25mm),길이(140mm)

▶ 센서(FLS,RLS,ORG) 내장 

▶ 고분해능(50nm)의 광학식 엔코더 적용

     Absolute, Incremental 선택 가능

▶ M075와 조합 가능 -  2축(XY, XT) 또는 3축(XYT)의 구성이 용이함

▶ 적용드라이브

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