소형 리니어스테이지 - 직선형(UE-M120-X)
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UE-M120-X
▶ Slotless 리니어 모터 장착
▶ Cogging이 없는 속도 Ripple의 최소화
▶ 컴팩트한 초소형 사이즈(120*120*25)
▶ 센서(FLS, RLS, ORG) 내장
▶ 고분해능(50nm)의 광학식 엔코더 적용
Absolute, Incremental 선택 가능
▶ 조합에 따라 2축(XY, XT) 또는 3축(XYT)의 구성이 용이함
▶ 적용드라이브
