NEO STAGE - 회전형(UE-VM160-T08)
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UE-VM160
▶ Voice Coil Motor 구동
▶ 컴팩트한 사이즈(160*205*38H)
▶ 센서(FLS,RLS,ORG) 내장 : PM-L25
▶ 분해능(0.1㎛)의 광학식 엔코더(Incremental) 적용
▶ 중공파이85mm, 더미너비 43mm
▶ 고객 기구물(레이져) 간섭 회피
▶ 적용드라이브
첨부파일
| 번호 | 파일명 | 첨부파일 |
|---|---|---|
| 1 | UE-VM160-T08.dwg (454.7K) |
