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리니어 박형스테이지

NEO STAGE - 회전형(UE-VM180-T08)

본문

UE-VM180
UE-VM180
▶ Voice Coil Motor 구동 

▶ 컴팩트한 사이즈(160*225*38H) 

▶ 센서(FLS,RLS,ORG) 내장 : PM-L25 

▶ 분해능(0.1㎛)의 광학식 엔코더(Incremental) 적용 

▶ 중공파이85mm, 더미너비 59mm  

▶ 고객 기구물(레이져) 간섭 회피 

▶ 적용드라이브 

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1 UE-VM180-T08.dwg (528.3K)