NEO STAGE - 직선형(UE-M095-X60)
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▶ Slotless 리니어 모터 장착
▶ Cogging이 없는 속도Ripple의 최소화
▶ 컴팩트한 초소형 사이즈 - 폭(95mm),높이(25mm),길이(140mm)
▶ 센서(FLS,RLS,ORG) 내장
▶ 고분해능(50nm)의 광학식 엔코더 적용
Absolute, Incremental 선택 가능
▶ M075와 조합 가능 - 2축(XY, XT) 또는 3축(XYT)의 구성이 용이함
▶ 적용드라이브